TESC7080 直流高压电源

TESC7080

泰思曼 TESC7080 系列高压电源专为静电卡盘的应用而设计,能够在 10ms 内输出精确的电压,并在1s 内切换极性,从而为半导体制程过程提供保护。它具有可逆的对地参考输出极性,也可以输出浮地双极电压,并有相应的浮地接口。它还有完善的故障诊断和状态监测功能,可以将数据传送到用户界面。它的封装设计紧凑轻便,可 OEM。

典型应用:E-Chuck;静电卡盘;静电吸盘;静电吸附系统

 

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产品特点

  • 浮地;双极性输出;极性可切换
  • 中心点监测
  • +24V DC 输入
  • 模拟量控制/485 控制/以太网控制
  • 是否有综合的故障诊断电路(监测电源功能并将状态数据传送到用户界面)

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网址:www.xingfp.cn
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产品规格

输入电压

+24VDC±5%,5A。

输出极性

浮地,双极性输出,极性可切换。

最大输出电压

0 至±5kV。

最大输出电流

2mA。

最大输出功率

20W。

电压调节

负载

转换速率

典型 1s

最大循环频率

0.5Hz。

过冲

<设定值的 10%

纹波

在额定输出条件下,优于 3ppm (p-p)。

线路

在任何负载条件下,10%输入电压变化<0.1%

负载

从零到满负载<1.3%。

电压显示

分辨率= 100V。精度=实际输出的±1%(±10V 偏置)。

电流显示

分辨率=100μA。精度=实际输出±100μA 偏移的±2%。

典型负载电容

<20nF(对于其他负载电容,请联系泰思曼)。

保护

电弧和短路保护。配备输入和输出电流限制。输出电流限值可设置在 0.1mA 至 2mA 范围内。连续电弧保护方式需定制。

通信

通过 DB9 模拟量控制,也可选择 RS-485 串行接口、USB 或以太网进行控制。

注意

当以太网连接到 LAN 端口/485 连接时,串行通信将被禁用。

前面板控制

具有用于本地控制的前面板按钮。

切换

手动改变输出极性。

输出开/关

软开关方式控制高压输出。

旋转控制/输入

用于导航和输入值更改。

稳定性

开机 0.5 小时后每 8 小时小于 0.3%。

温度系数

电压和电流优于 300ppm/℃。满载时<0.1%p-p,最大输出。

环境温度

工作时

0˚C 至 45˚C

储存时

-20˚C 至 70˚C

湿度

0 至 85%RH,非冷凝。

冷却

自然冷却。